ASTM F1259M-1996(2003) 检测由电迁移造成的喷镀金属开路或阻力增加失效率用的平板、直线试验结构设计的标准指南(米制单位)

作者:标准资料网时间:2024-05-15 14:36:11 浏览:9564 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardGuideforDesignofFlat,Straight-LineTestStructuresforDetectingMetallizationOpen-CircuitorResistance-IncreaseFailureDuetoElectromigration[Metric]
【原文标准名称】:检测由电迁移造成的喷镀金属开路或阻力增加失效率用的平板、直线试验结构设计的标准指南(米制单位)
【标准号】:ASTMF1259M-1996(2003)
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1996
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.11
【标准类型】:(Guide)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电气工程;电压;电路;集成电路;半导体工程;直的;导向装置;喷镀金属
【英文主题词】:designguideline;electromigration;electromigrationfailure;interconnectmetallization;metallizationopen-circuit;metallizationresistance;microelectronic;teststructure
【摘要】:Thisguideisintendedforthedesignofteststructuresusedinmeasuringthemedian-time-to-failureandsigma(seeTestMethodF1260M)ofmetallizationsfabricatedinwaysthatareofinteresttothepartiestothe
【中国标准分类号】:J04
【国际标准分类号】:
【页数】:2P.;A4
【正文语种】:

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